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发明名称
PROBE CARD AND ALIGNMENT USING THIS
摘要
申请公布号
JPH01313952(A)
申请公布日期
1989.12.19
申请号
JP19880144997
申请日期
1988.06.13
申请人
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD
发明人
SAWADA SOSAKU
分类号
H01L21/66;G01R1/073
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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