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发明名称 ANORDNING VED FORSTOEVNINGSKATODE OG SYSTEM TIL PAAFOERING AF OVERTRAEK PAA STORE SUBSTRATAREALER
摘要
申请公布号 DK157563(B) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 DK19790005436 申请日期 1979.12.19
申请人 ADVANCED COATING TECHNOLOGY INC. 发明人 CHAMBERS, DOUGLAS LAWRENCE;WAN, CHONG TAK
分类号 C23C14/36;C23C14/35;C23C14/56;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/36
代理机构 代理人
主权项
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