发明名称 DEVICE FOR SUPPLYING GRANULAR SILICON MATERIAL
摘要
申请公布号 JPH0218376(A) 申请公布日期 1990.01.22
申请号 JP19880165084 申请日期 1988.07.04
申请人 NKK CORP 发明人 NAKAHAMA YASUMITSU;SHIMA YOSHINOBU;SUZUKI MAKOTO
分类号 C30B15/02;H01L21/208 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
主权项
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