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经营范围
发明名称
DEVICE FOR SUPPLYING GRANULAR SILICON MATERIAL
摘要
申请公布号
JPH0218376(A)
申请公布日期
1990.01.22
申请号
JP19880165084
申请日期
1988.07.04
申请人
NKK CORP
发明人
NAKAHAMA YASUMITSU;SHIMA YOSHINOBU;SUZUKI MAKOTO
分类号
C30B15/02;H01L21/208
主分类号
C30B15/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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