发明名称 PROCEDE ET DISPOSITIF POUR L'APPLICATION UNIFORMEMENT REGULIERE D'UNE COUCHE DE RESINE SUR UN SUBSTRAT
摘要 <P>Procédé et dispositif pour l'application uniformément régulière d'une couche de résine sur un substrat, caractérisé en ce qu'il comporte un plateau tournant 1 récepteur du substrat 3 et muni de moyens d'immobilisation du substrat sur le plateau, de sorte que la rotation du plateau 1 provoque l'étalement en couche mince de la résine sur la surface du substrat. On superpose sur le plateau circulaire 1 un couvercle concentrique 3 et on provoque la mise en rotation de ce couvercle avec le plateau en confinant le volume gazeux, constitué de solvant en suspension conservant les propriétés de la résine en solution pendant le cycle d'étalement, constituant l'atmosphère interne dans lequel se trouve placé le substrat, ce volume étant entraîné en rotation sensiblement synchrone avec le plateau et le couvercle.</P>
申请公布号 FR2636546(A1) 申请公布日期 1990.03.23
申请号 FR19880012045 申请日期 1988.09.15
申请人 SULZER ELECTRO TECHNIQUE 发明人 GILBERT CAVAZZA
分类号 B05C11/08;B05D1/40;G03F7/16;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):B05C5/02;H01L21/31 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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