发明名称 Wire saw apparatus
摘要 와이어 쏘 장치가 제공된다. 와이어 쏘 장치는 제1 방향으로 이동하는 잉곳, 상기 잉곳이 이동하는 경로 상에 위치하여 상기 잉곳을 절단하는 와이어, 상기 와이어가 외주면에 감겨져 상기 와이어를 이동시키는 한 쌍의 가이드 롤러 및 상기 한 쌍의 가이드 롤러 사이에 위치하여 상기 와이어를 통과한 잉곳을 세정하는 세정부를 포함하되. 상기 세정부는 내부에 세정액이 채워지고 상기 와이어를 통과한 잉곳을 수용할 수 있는 수용홈이 형성된 제1 배스, 상기 제1 배스의 일측면에 적어도 하나 이상 배치되되 상기 세정액을 진동시키기 위해 초음파를 발생시키는 초음파 발생부 및 상기 제1 배스에서 오버플로우되는 상기 세정액을 수용하기 위해 상기 제1 배스를 둘러싸는 제2 배스를 포함한다.
申请公布号 KR20160128115(A) 申请公布日期 2016.11.07
申请号 KR20150059946 申请日期 2015.04.28
申请人 WOONGJIN ENERGY CO., LTD. 发明人 BAIK, SUNG SUN;WOO, NAM KYOO;JANG, SOON HO;CHOI, HYO IL;KIM, NAM KI;BAE, DONG WOO;JUNG, SEUNG GU
分类号 H01L21/78;B23D55/08;H01L21/02 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项
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