发明名称 MANUFACTURE OF ELECTRODE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH02170417(A) 申请公布日期 1990.07.02
申请号 JP19880323395 申请日期 1988.12.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 NAGAOKA MASAMI
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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