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发明名称 VAPOR PHASE TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH02199820(A) 申请公布日期 1990.08.08
申请号 JP19890017437 申请日期 1989.01.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAI KENYA
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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