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发明名称
IMAGE RESTORING METHOD/SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE, AND PATTERN APPEARANCE INSPECTION APPARATUS /SCANNED IMAGE DETECTOR
摘要
申请公布号
JPH02236938(A)
申请公布日期
1990.09.19
申请号
JP19890056304
申请日期
1989.03.10
申请人
HITACHI LTD
发明人
KOSHISHIBA HIROYA;NAKAHATA MITSUZO
分类号
H01J37/22;G06T1/00
主分类号
H01J37/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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