发明名称 EPITAXIAL WAFER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH02246344(A) 申请公布日期 1990.10.02
申请号 JP19890068781 申请日期 1989.03.20
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAWADA MINORU
分类号 H01L21/205;H01L21/208;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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