| 发明名称 |
THIN FILM FORMING AND ETCHING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH02246328(A) |
申请公布日期 |
1990.10.02 |
| 申请号 |
JP19890068341 |
申请日期 |
1989.03.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
KOBAYASHI KAZUO;UEHARA YUJI;SAWADA SHIGETOMO;SATO FUMIHIKO |
| 分类号 |
C23C14/54;C23F4/00;G01N21/63;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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