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发明名称 MANUFACTURE OF THIN-FILM TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH02277246(A) 申请公布日期 1990.11.13
申请号 JP19890098575 申请日期 1989.04.18
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 KATO TERUO
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L29/786 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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