| 摘要 |
<p>Es wird ein mikromechanischer Aktuator vorgeschlagen, dessen beweglicher Teil, z.B. Membran, Biegebalken o.ä., relativ gegenüber einem feststehenden Teil beweglich ist durch eine Kombination aus elektromagnetischen und elektrostatischen Kräften. Die Herstellungstechnik und Anwendungen des Aktuatores ist beschrieben. Die Bauweise ist eine sehr dichte, d.h. hochintegrierte, Bauweise.</p> |
