| 发明名称 |
MICROWAVE ENHANCED CVD METHOD FOR DEPOSITING CARBON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR900008505(B1) |
申请公布日期 |
1990.11.24 |
| 申请号 |
KR19880001649 |
申请日期 |
1988.02.15 |
| 申请人 |
SEMICONDUCTOR ENERGY LABORATORY CO.,LTD. |
发明人 |
YAMAZAKI SHUNPEI |
| 分类号 |
C23C16/27;C23C16/511;C30B25/10;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/27 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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