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发明名称 APPARATUS FOR PLASMA ETCHING
摘要
申请公布号 JPH0344028(A) 申请公布日期 1991.02.25
申请号 JP19890179625 申请日期 1989.07.11
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 MAKI TAKAHIRO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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