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发明名称 OPTIC INSPECTION APPARATUS AND ILLUMINATION SYSTEM PARTICULARLY USEFUL THEREIN
摘要
申请公布号 IL94368(D0) 申请公布日期 1991.03.10
申请号 IL19900094368 申请日期 1990.05.11
申请人 ORBOT SYSTEMS LTD. 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/84;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/95;G01N21/956;G02B6/00;(IPC1-7):G01N/ 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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