发明名称 VACUUM DEPOSITING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0387360(A) 申请公布日期 1991.04.12
申请号 JP19890222257 申请日期 1989.08.29
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 ASAI KOSUKE;WATANABE HIDEKI
分类号 B01J19/00;C23C14/24 主分类号 B01J19/00
代理机构 代理人
主权项
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