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发明名称 FOCUS ADJUSTMENT OF CHARGED PARTICLE BEAM
摘要
申请公布号 JPH03120818(A) 申请公布日期 1991.05.23
申请号 JP19890259496 申请日期 1989.10.04
申请人 JEOL LTD 发明人 ASARI TOSHIHIRO
分类号 H01J37/153;H01J37/21;H01J37/30;H01L21/027 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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