| 发明名称 |
PRODUCTION OF ALKALI METAL-REPLACED OXIDE THIN FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH03122003(A) |
申请公布日期 |
1991.05.24 |
| 申请号 |
JP19890135367 |
申请日期 |
1989.05.29 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
ENOMOTO YOICHI;MURAKAMI TOSHIAKI;MORIWAKI KAZUYUKI |
| 分类号 |
C01B13/14;C01G1/00;C01G3/00;C01G29/00;C30B23/08;C30B29/22;H01B12/00;H01L39/24 |
主分类号 |
C01B13/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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