发明名称 |
BEAM SOURCE FOR GENERATING PARTIALLY COHERENT BEAM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03135087(A) |
申请公布日期 |
1991.06.10 |
申请号 |
JP19900266591 |
申请日期 |
1990.10.05 |
申请人 |
CARL ZEISS:FA |
发明人 |
UUBUE FURII;KURAUSU FURAISHIYURAATO;MIHIYAERU KIYUUHERU;ANDOREASU DORUZERU |
分类号 |
H01S5/06;H01S5/042;H01S5/062;H01S5/40 |
主分类号 |
H01S5/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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