具有蓌定输出之微泵

摘要

一种含有一个泵动室（ｐumping chamber），利用入口阀与泵动室连通的一个入口引导和经出口阀与泵动连通的一个出口引道之微泵，这些元件是利用蚀刻（etching）矽层板（wafer）然后封到玻璃层板上所制成的并由于弯曲泵动室墙面形成部份的墙面来改变泵动室的容量。依据本发明，泵动室有一止动块（stop）其决定可曲挠墙面所移动的振幅。如此利用可弯曲墙面位移来精确决定改变室内的容量，因此在正常操作情况下可以维持微泵恒定输出之功能。

主权项

1﹒一种微泵其包含一些层板与另一个密接在一起因此形成一个泵动室,它是至少蚀刻这些层板中的一片定出凹处的形状使得在两个胶合的层板中定出泵动室的空间的,以及包含至少一个入口阀和至少一个出口阀能够使泵动室各别地与一个入口引道和一个出口引道连通,上述微泵也包含一控制元件以弹性地弯曲泵动室墙面形成部份的墙面使它在第一位置和第二位置之间移动,第一位置是上述可曲挠墙面相对地远离石动室对面墙面的地方,第二位置是上述可曲挠墙面接近上述对面的地方,可曲挠墙面之移动造成液体吸入泵动室或排出泵动室,上述微泵之特性在于上述泵动室含有一止动块其设定出可曲挠墙面之上述第二位置。2﹒依据申请专利范围第1项之微泵,其中止动块是在泵动室内表面形成的一个出凸物。3﹒依据申请专利范围第2项之微泵,其中当可曲挠墙面假设在第二位置是平面时止动块的表面正与泵动室的内表面接触。4﹒依据申请专利范围第2项或第3项之微泵,其中凸出物是在对四处底部蚀刻时在凹处之底部形成出来的。5﹒依据申请专利范围第1项之微泵,其中止动块是位于对面可曲挠墙面之泵动室墙面之内表面所组成的。6﹒依据申请专利范围第1项之微泵,其中层板定出泵动室空间的一种式样是矽和其它的玻璃,由矽层板蚀刻形成的四处和止动块之组合形成的,7﹒依据申请专利范围第6项之微泵,其中可曲挠墙面是矽层板的一个部份。8﹒依据申请专利范围第6项或7项之微泵,其中矽层板是单晶矽制成的。9﹒依据申请专利范围第1项之微泵,其中入口阀放在面对可曲挠墙面之泵动室墙面上和其中至少这阀的一个部份组成止动块。10﹒依据申请专利范围第1项之微泵,其中控制元件包含固定在可曲挠墙面之压电盘。图示简单说明图1A显示依据本发明微泵之动室沿I-I连线取出的断面图,图1B显示在图1所示泵动室之平面图I连线取出的断面图,图3A和3B各别地显示依据本发明微泵之泵动室具体形体沿Ⅲ-Ⅲ连线取出的断面图和平面图,图4足依据本发明微泵之泵动室其他的具体形体之横断面图,图5显示图4之泵动至横断面图,其中可曲挠墙面是在第二位置,图6A和6B各别地显示本发明微泵Ⅵ-Ⅵ连线取出的断面图和平面图,图7A和7B各别地显示本发明另一个微泵沿Ⅶ-Ⅶ连线取出的断面图和平面图,图8是一图表明微泵之输出口引道压力的函数其显示传统式有两个阀的微泵和依据本发明之微泵的情况。