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发明名称
DEVICE FOR FORMING MULTILAYERED THIN FILM BY PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号
JPH03197680(A)
申请公布日期
1991.08.29
申请号
JP19890337743
申请日期
1989.12.25
申请人
SEIKO INSTR INC
发明人
SUZUKI YOSHIHIKO
分类号
C23C16/48;C23C16/52
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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