发明名称 DEVICE FOR FORMING MULTILAYERED THIN FILM BY PHOTOCHEMICAL VAPOR DEPOSITION
摘要
申请公布号 JPH03197680(A) 申请公布日期 1991.08.29
申请号 JP19890337743 申请日期 1989.12.25
申请人 SEIKO INSTR INC 发明人 SUZUKI YOSHIHIKO
分类号 C23C16/48;C23C16/52 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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