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经营范围
发明名称
SPINNER APPARATUS
摘要
申请公布号
JPH03219619(A)
申请公布日期
1991.09.27
申请号
JP19900015607
申请日期
1990.01.24
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
KAWAI AKIRA
分类号
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027
主分类号
G03F7/16
代理机构
代理人
主权项
地址
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