| 主权项 |
1.一种用于表面声波装置之新颖铝电极,该表面声波装置包含:压电基体;以及形成在该压电基体上之电极装置,其特征在该电极装置包括结晶组织朝一定方向之铝薄膜。2.如申请专利范围第1项所述之用于表面声彼装置新颖铝电极,其中该压电基体系由转动的Y 切割石英晶体制成。3.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该铝薄膜系(311)定向薄膜。4.如申请专利范围第2项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该转动的Y 切割石英晶体之转动角度为25至39。5.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该压电基体系由LiTaO3制成。6.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,兵中该压电基体系由LiNbO3制成。7.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该压电基体系由Li2B4o7制成。8.如申请专利范围第7项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该Li2B4O7基体系具有45转动角度的X切割基体。9.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该压电基体包含蓝宝石基体及在该蓝宝石基体上生长晶膜之ZnO薄膜。10.如申请专利范围第1项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该铝薄膜包含自Cu,Ti,Ni,Mg及Pd 族类中选择至少一元素而制备的混合物。11.如申请专利范围第10项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该铝薄膜包含01至10%重量比混合物。12.如申请专利范围第2项所述之用于表面声波装置新颖铝电极,其中该转动的Y 切割石英晶体之转动角度为103 |
