发明名称 |
一种SiC环状浮点型P+结构结势垒肖特基二极管 |
摘要 |
本实用新型涉及一种半导体芯片技术领域,公开了一种SiC环状浮点型P+结构结势垒肖特基二极管,包括肖特基接触区、SiO<sub>2</sub>隔离介质、N‑外延层、N+衬底区和欧姆接触区,所述N+衬底区上面设有N‑外延层,所述N‑外延层上设有肖特基接触区和SiO<sub>2</sub>隔离介质,所述N+衬底区下面设有欧姆接触区,其特征在于:所述N‑外延层和肖特基接触区之间设有多个环状浮点型P+注入区。本实用新型的优点:在传统JBS器件结构基础上引入环状浮点型P+结构,增大有源区肖特基接触面积,增大导通路径,提高器件的正向导通电流,降低导通电阻,而反向漏电流增加并不明显,解决缓解了器件正向导通电阻和反向击穿电压相互制约矛盾等问题。 |
申请公布号 |
CN205621743U |
申请公布日期 |
2016.10.05 |
申请号 |
CN201620264475.6 |
申请日期 |
2016.04.01 |
申请人 |
江苏捷捷微电子股份有限公司 |
发明人 |
王成森;沈怡东;钱清友;张超;周榕榕;黎重林;薛治祥;颜呈祥 |
分类号 |
H01L29/872(2006.01)I;H01L29/06(2006.01)I;H01L21/329(2006.01)I |
主分类号 |
H01L29/872(2006.01)I |
代理机构 |
南京正联知识产权代理有限公司 32243 |
代理人 |
卢海洋 |
主权项 |
一种SiC环状浮点型P+结构结势垒肖特基二极管,包括肖特基接触区、SiO<sub>2</sub>隔离介质、N‑外延层、N+衬底区和欧姆接触区,所述N+衬底区上面设有N‑外延层,所述N‑外延层上设有肖特基接触区和SiO<sub>2</sub>隔离介质,所述N+衬底区下面设有欧姆接触区,其特征在于:所述N‑外延层和肖特基接触区之间设有多个环状浮点型P+注入区。 |
地址 |
226200 江苏省南通市启东科技创业园兴龙路8号 |