发明名称 METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH03247583(A) 申请公布日期 1991.11.05
申请号 JP19900044453 申请日期 1990.02.27
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ARAKI TAKASHI;TATSUMI MASAMI
分类号 C30B11/00;C30B29/48;H01L21/208 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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