发明名称 |
METHOD FOR GROWING SINGLE CRYSTAL OF COMPOUND SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH03247583(A) |
申请公布日期 |
1991.11.05 |
申请号 |
JP19900044453 |
申请日期 |
1990.02.27 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
ARAKI TAKASHI;TATSUMI MASAMI |
分类号 |
C30B11/00;C30B29/48;H01L21/208 |
主分类号 |
C30B11/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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