发明名称 磁化器盖及罩装置
摘要 用于生长硅树枝状带形晶体之一种新款盖(10)及罩(14-16)装置,装置包括叠置于一盖(10)上方之多个间隔分开罩(14-16),盖具有一槽缝(11),树枝状带形晶体经槽缝被拉出。罩(14-16)亦具槽缝(11),每一顺序罩(14-16)之槽缝(11)略大于其下方罩之槽缝,以提供100%熔化物补充及增加之生产力。
申请公布号 TW173420 申请公布日期 1991.11.21
申请号 TW079103369 申请日期 1990.04.25
申请人 艾巴拉索拉股份有限公司 发明人 保罗.安东尼.皮托史基
分类号 H01L21/00 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1﹒用于生长树枝状币形晶体之一种磁化器盖(10)及罩 (14一16) 装置,特点为盖 (10)具有一领结形槽缝 (11),树枝状带形晶体可自槽缝拉出,领结形盖槽缝 (11) 具有多个带导引件 (18),导引件位于领结形槽缝 (11) 之纵向平行部份之各顶点并伸向被拉动之晶体,导件 (18) 具有圆形凸出部份,装置包括位于盖 (10) 上方之多个罩 (14一16),一罩 (14) 为最下方罩,最下方罩 (14) 靠置于盖 (10)上并具有一槽缝 (11),最下方罩槽缝 (11)配置成实质上与盖 (10) 上领结形槽缝 (11) 同心,最下方置槽缝 (11) 大于盖 (10) 上领结形槽缝(11),每一另外罩 (15.16)位于一罩 (14.15)上方并具有配置成与盖 (10) 上领结形槽缝 (11),及每一其他罩 (14一16) 上槽缝 (11)实质上同心之一槽缝 (11),各罩 (14一16) 依逐渐加大槽缝尺度之顺序位于另一贯上方,故每一罩 (14一16) 之槽缝大于直接位于其上方之罩 (14一16)槽缝。2. 根据申请专利范围第l项之磁化器盏 (10) 及罩 (14一16) 装置,特点为一顶板 (17) 位于多个罩 (14一16)上方,顶板(17) 具有一槽缝 (11),此槽缝 (11) 配置成与各罩(14一16) 之槽缝 (11) 实质上同心,及顶板槽缝 (11I)大于各罩(14一16)之槽缝 (11)。3. 根据申请专利范围第l项之磁化器盖 (10) 及置(14一16)装置,特点为各单(14一16)为1.5mm厚,及互相间隔分开达约1.6mm之距离。4. 根据申请专利范围第1项之磁化器盖 (10) 及贯 (14一16) 装置,特点为各罩 (14一16) 用烧结之钼制成。5. 用于生长树枝状带形晶体之一种磁化器盖10) 及罩 (14一16) 装置,特点为盖 (10) 具有一领结形槽缝 (11),树枝状带形晶可自槽缝拉出,领结形盖槽缝 (11)具有多个带导引件 (18),带导引件位于槽缝 (11) 之纵向平行部份之各顶点及伸同被拉动之晶体,带导引件 (18) 具有圆形凸出部份,装置包括位于盖 (10) 上方之多个置 (14一16),多个罩 (14一16)包括直接位于盖 (10)上方之第一罩(14),第一罩(14)具有一槽缝 (11) ,第一罩槽缝 (11) 配置成与盖 (10) 上领结形槽缝 (11) 实领口同心,第一罩槽缝(11) 之宽度大于盖 (10) 上结形槽缝 (11) 之宽度,多个罩(14一16) 进一步包括位于第一罩 (14) 上方之第二罩 (15) 第二罩 (15) 具有一槽缝 (11),第二罩槽缝 (11) 配置成与第一罩槽 (11) 实质上同心,第二罩槽缝 (11) 之宽度大于第一罩槽缝 (11) 之宽度,多个罩 (14一16)进一步包括位于第二罩 (15) 上方之第三罩 (16),第三罩 (16) 具有一槽缝 (11),第三罩槽缝 (11) 配置成与第二罩槽缝 (11) 实质上同心,第三罩槽缝 (11)较第二罩槽缝 (11) 为宽。6. 根据申请专利范围第5项之磁化器盖 (10)及罩 (14一16) 装置,特点为一顶板 (17) 位于多个罩 (14一16) 上方,顶板 (17)具有一槽缝 (11),此槽缝 (11) 配置成与各罩 (14一16) 之槽缝 (11)实质上同心,及顶板槽缝 (11) 大于各罩 (14一16) 之槽缝 (11)。7. 根据申请专利范围第l项之磁化器盖 (10) 及罩 (14一16) 装置,特点为各罩 (11一16)为l.5mm厚,及互相间隔分开达约l.6mm之距离。8. 根据申请专利范围第1项之磁化器盖 (10) 及罩 (14一16) 装置,特点为各罩 (14一16) 用烧结之钼制成。9. 根据申请专利范围第6项之磁化器盖 (10) 及罩 (14一16)装置,特点为各罩 (14一16) 上槽缝 (11) 之尺度逐渐增加而与各罩置于其上方之水平熔液 (21) 形成一角1,角约30。10. 根据申请专利范围第7项之磁化器盖 (10) 及罩 (14一16) 装置,特点为领结形槽缝 (11)、各罩 (14一16)上槽缝 (11) 及顶板 (17)上槽 (11) 各具有自其延伸之向外斜形部份 (33) 向外斜形部份(33) 与狭平行部份 (32) 形成约22之一角1,。11. 根据中请专利范围第10项之磁化器盖 (10) 及罩 (l4一16) 装置,特点为盖 (l0)、各P罩 (14一16) 及顶板 (17) 之平行部份 (32)均具有相同长度。12. 根据申请专利范围第10项之磁化器盖 (10) 及罩 (14一16) 装置,特点为每一罩(14一10) 及顶板 (17) 之向外斜形部份(33) 均与盖及各置之向外斜形部份 (33) 实质上平行。图示简单说明 :图l为具有盖及槽缝开度逐渐加大之各叠置罩之本发明之一种较佳具体实例之平面图。图2为用于发明之具有带导引件之一种较佳盖糟缝之概略平面图。图3为沿图l之线A一A所取之盖及罩装置之断面图。图4为采用本发明之较佳置及罩组态所产生之树枝状常形晶体之带厚度与晶体宽度对照图。图5为本发明之较佳罩之概略平面图
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