| 发明名称 |
PATTERNING METHOD USING MULTI-LAYER RESIST SUBJECT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR910009612(B1) |
申请公布日期 |
1991.11.23 |
| 申请号 |
KR19880014253 |
申请日期 |
1988.10.31 |
| 申请人 |
FUJITSU CO.,LTD. |
发明人 |
OSIO SUJO;KOBAYASHI GOITZI |
| 分类号 |
G03F7/11;G03F7/09;G03F7/095;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/465 |
主分类号 |
G03F7/11 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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