MODULAR VAPOR PROCESSOR SYSTEM,申请号US19890294278-传众专利搜索

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法人/股东/高管

发明名称	MODULAR VAPOR PROCESSOR SYSTEM
摘要
申请公布号	US5076205(A)	申请公布日期	1991.12.31
申请号	US19890294278	申请日期	1989.01.06
申请人	GENERAL SIGNAL CORPORATION	发明人	VOWLES, E. JOHN;MAHER, JOSEPH A.;NAPOLI, JOSEPH D.
分类号	H01L21/302;H01L21/00;H01L21/3065;H01L21/677	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
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