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经营范围
发明名称
ION BEAM SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH046272(A)
申请公布日期
1992.01.10
申请号
JP19900109340
申请日期
1990.04.25
申请人
HITACHI LTD
发明人
ARIMATSU KEIJI
分类号
C23C14/46;C23C14/56;H01J37/08
主分类号
C23C14/46
代理机构
代理人
主权项
地址
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