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发明名称 ION IMPLANTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0410346(A) 申请公布日期 1992.01.14
申请号 JP19900112619 申请日期 1990.04.26
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 FUJISAWA HIROSHI
分类号 H05H7/08;H01J27/02;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265 主分类号 H05H7/08
代理机构 代理人
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