| 发明名称 |
ELECTROSTATIC CHARGE SENSOR FOR ION IMPLANTATION DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0447656(A) |
申请公布日期 |
1992.02.17 |
| 申请号 |
JP19900154538 |
申请日期 |
1990.06.12 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
MATSUDA SHINTARO;NAKAJIMA YUICHI;YAMAMOTO HIROHISA |
| 分类号 |
C23C14/48;C23C14/54;H01J37/04;H01J37/317;H01L21/265 |
主分类号 |
C23C14/48 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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