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发明名称 FLUID CONTROLLER AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH04126324(A) 申请公布日期 1992.04.27
申请号 JP19900246529 申请日期 1990.09.17
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SHIMIZU NOBUO;NOSE YASUTO;KAMISUKE SHINICHI;YOTSUYA SHINICHI
分类号 F16K7/17;H01H35/40 主分类号 F16K7/17
代理机构 代理人
主权项
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