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发明名称 PIEZOELECTRIC ACTUATOR WITH DISPLACEMENT TRANSFER MECHANISM
摘要
申请公布号 JPH04145676(A) 申请公布日期 1992.05.19
申请号 JP19900269848 申请日期 1990.10.08
申请人 NEC CORP 发明人 ACHINAMI TATSUO
分类号 H01L41/083;H01L41/09 主分类号 H01L41/083
代理机构 代理人
主权项
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