| 发明名称 |
DEVICE FOR DRAINING LIQUID FROM SPIN TABLE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH04172459(A) |
申请公布日期 |
1992.06.19 |
| 申请号 |
JP19900299728 |
申请日期 |
1990.11.07 |
| 申请人 |
SHIBAURA ENG WORKS CO LTD |
发明人 |
TAKAGI SHINICHIRO;KIMURA CHOICHI |
| 分类号 |
G03F7/16;B05C11/08;H01L21/027;H01L21/30 |
主分类号 |
G03F7/16 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
