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发明名称 THIN FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04173976(A) 申请公布日期 1992.06.22
申请号 JP19900298189 申请日期 1990.11.02
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 KUSAKABE YOSHIHIKO;ONISHI HIROSHI;KOBAYASHI MINORU
分类号 C23C16/44;C23C16/52;H01L21/205;H01L21/285 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
主权项
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