辐射感应正光阻组成物

摘要

本发明系一种正光阻组成物，包括辐射感应成分，可溶于硷之树脂及下式之酚化合物：□ (Ⅰ)式中R系氢原子、低级烷基或苯基；R'系烷基或烷氧基；n为0至3之整数。该组成物具有均衡良好如感应度、解析度、抗热性和黏附性之特性。