| 发明名称 |
PRODUCTION OF EPITAXIAL WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH04187599(A) |
申请公布日期 |
1992.07.06 |
| 申请号 |
JP19900314670 |
申请日期 |
1990.11.20 |
| 申请人 |
MITSUBISHI KASEI CORP;MITSUBISHI KASEI POLYTEC CO |
发明人 |
ISHIWATARI TOSHIO |
| 分类号 |
C30B19/00;C30B29/40;H01L21/205 |
主分类号 |
C30B19/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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