| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR HET VERVAARDIGEN VAN EEN HALFGELEIDERSUBSTRAAT. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL188550(C) |
申请公布日期 |
1992.07.16 |
| 申请号 |
NL19820002526 |
申请日期 |
1982.06.22 |
| 申请人 |
KABUSHIKI KAISHA SUWA SEIKOSHA TE TOKIO, JAPAN. |
发明人 |
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| 分类号 |
H01L21/20;H01L21/268;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/62;H01L29/04 |
主分类号 |
H01L21/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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