发明名称 METHOD DETECTING RELATION BETWEEN SUBSTRATE DAMAGE IN DRY ETCHING PROCESSING AND PRO- CESSING PARAMETER
摘要
申请公布号 JPH04216625(A) 申请公布日期 1992.08.06
申请号 JP19910059714 申请日期 1991.02.28
申请人 SIEMENS AG 发明人 MANFUREETO ENGERUHARUTO
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/66 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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