发明名称 METHOD OF USING CIRCUIT BOARD FOR INSPECTING SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH04225544(A) 申请公布日期 1992.08.14
申请号 JP19900408038 申请日期 1990.12.27
申请人 IBIDEN CO LTD 发明人 KAWASAKI YOGO;TSUKADA KIYOTAKA
分类号 G01R1/06;G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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