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发明名称 LASER BEAM CHEMICAL REACTION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH04317737(A) 申请公布日期 1992.11.09
申请号 JP19910108167 申请日期 1991.04.15
申请人 NIPPON STEEL CORP;NIPPON STEEL CHEM CO LTD;RES DEV CORP OF JAPAN 发明人 HAMADA NAOYA;FUJIOKA YUJI;SAKAI TATSUHIKO
分类号 B01D59/34;B01J19/12;H01L21/205 主分类号 B01D59/34
代理机构 代理人
主权项
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