| 摘要 |
장척(長尺) 기판에 대해, 패턴의 선의 단선이나 사행(蛇行)을 일으키지 않고, 연속한 장척 패턴을 정밀도 좋게 노광할 수 있는 마스크리스 노광 장치를 얻는다. 광변조 소자 어레이를 포함하는 노광 수단과, 장척 기판의 길이 방향의 일부를 평면상(平面狀)으로 보지(保持)하는 기판 보지 수단과, 상기 장척 기판의 길이 방향으로, 상기 노광 수단과 기판 보지 수단을 상대 이동시키는 상대 이동 수단과, 상기 장척 기판에 대한 장척 노광 패턴 데이터를 상기 장척 기판의 길이 방향으로 분할한 분할 노광 패턴 데이터를 기억하는 데이터 기억 수단과, 상기 상대 이동 수단에 의해 상기 노광 수단과 기판 보지 수단을 상대 이동시키면서, 상기 데이터 기억 수단에 기억되어 있는 상기 분할 노광 패턴 데이터에 따라 상기 노광 수단에 상기 장척 기판을 노광시키는 노광 제어 수단을 구비한 마스크리스 노광 장치. |
