摘要 |
잉크젯 헤드에 구비되는 복수 개의 노즐들로부터 토출되는 액적의 면적을 검사하기 위한 액적 검사 장치 및 방법에 있어서, 상기 복수 개의 노즐들로부터 토출이 이루어지는 액적을 향하여 조사되어 지는 레이저 광의 주파수 변화를 측정함에 의해 상기 액적의 속도를 측정할 수 있도록 구비되는 속도 측정부; 상기 액적에 대한 속도를 측정할 때 상기 액적이 상기 레이저 광을 지나는 시간을 측정하도록 구비되는 시간 측정부; 및 상기 속도 및 상기 시간을 통하여 상기 액적에 대한 면적을 분석하도록 구비되는 분석부를 포함할 수 있다. |