| 摘要 |
<p>Es ist eine elektrostatisch betriebene Mikromembranpumpe (1) mit einem ersten Pumpenkörper (2; 32) als Gegenelektrodenkörper, und einem zweiten Pumpenkörper (3; 33), der einen Membranbereich (6) aufweist, beschrieben. Die beiden Pumpenkörper (2, 32; 3, 33) legen einen an den Membranbereich (6) angrenzenden Hohlraum (10) miteinander fest und sind elektrisch voneinander isoliert. Der Hohlraum (10) ist mit einem von dem zu pumpenden Fluid verschiedenen Medium gefüllt. Die Pumpenkörper (2, 32; 3, 33) können aus einem Halbleitermaterial von unterschiedlichen Ladungstypen bestehen. Das sich in dem Hohlraum befindende Medium besitzt bevorzugt eine große Dielektrizitätskonstante.</p> |
