发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR INSPEKTION VON STRICHPLATTEN.
摘要
申请公布号 DE68907233(D1) 申请公布日期 1993.07.29
申请号 DE19896007233 申请日期 1989.02.06
申请人 EASTMAN KODAK CO. (N.D.GES.D. STAATES NEW JERSEY), ROCHESTER, N.Y., US 发明人 MORAN, KEVIN E., BELMONT NORTH CAROLINA 28012, US;SMITH, MICHAEL L., MATTHEWS NORTH CAROLINA 28105, US;LIPPARD, ERNEST R., CHARLOTTE NORTH CAROLINA 28209, US
分类号 G03F1/00;G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;G03F1/08;G03F1/14;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/89;G01N21/00;G01N21/55 主分类号 G03F1/00
代理机构 代理人
主权项
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