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发明名称 REMOVAL OF ORGANIC COMPOUND FILM
摘要
申请公布号 JPH05217957(A) 申请公布日期 1993.08.27
申请号 JP19920190993 申请日期 1992.07.17
申请人 TOSHIBA CORP;SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 JINBO SADAYUKI;MORI HARUKI;NONAKA MIKIO;KASAI MASARU
分类号 H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
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