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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH05234993(A) 申请公布日期 1993.09.10
申请号 JP19910295363 申请日期 1991.11.12
申请人 NEC CORP 发明人 OKUMURA HIROYUKI
分类号 C23F4/00;C25D7/12;H01L21/28;H01L21/288;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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