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发明名称 DRYETCHING GAS AND DRYETCHING METHOD USING IT
摘要
申请公布号 JPH05267243(A) 申请公布日期 1993.10.15
申请号 JP19920062851 申请日期 1992.03.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/302;H01S3/18 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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