BERUEHRUNGSLOSES REINIGUNGSVERFAHREN FUER OBERFLAECHEN MIT HILFE EINES FLACHEN LUFTKISSENLAGERS.,申请号DE19896009422-传众专利搜索

发明名称	BERUEHRUNGSLOSES REINIGUNGSVERFAHREN FUER OBERFLAECHEN MIT HILFE EINES FLACHEN LUFTKISSENLAGERS.
摘要
申请公布号	DE68909422(D1)	申请公布日期	1993.11.04
申请号	DE19896009422	申请日期	1989.01.10
申请人	ETEC SYSTEMS, INC., HAYWARD, CALIF., US	发明人	DEAN, ROBERT L., CASTRO VALLEY, CA 94552, US;YOUNG, LYDIA J., PALO ALTO, CA 94303, US;VENEKLASEN, LEE H., CASTRO VALLEY, CA 94546, US
分类号	B08B5/02;C23G5/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B5/00;G03G21/00;H01L21/00	主分类号	B08B5/02
代理机构		代理人
主权项
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