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发明名称 Fabry-Perot resonaattoriin perustuva optinen voima-anturi, jossa ilmaisimen osana toimii pyyhkäisevä Fabry-Perot resonaattori
摘要
申请公布号 FI922263(A) 申请公布日期 1993.11.20
申请号 FI19920002263 申请日期 1992.05.19
申请人 VAISALA TECHNOLOGIES INC., OY 发明人 LEHTO, ARI;ORPANA, MARKKU;KORHONEN, ANSSI;TAMMELA, SIMO
分类号 G01L11/00;B81B3/00;G01L1/24;G01L9/00;G02B26/00 主分类号 G01L11/00
代理机构 代理人
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